Nguyên tắc của phương phá: Mẫu phân tích được chuyển thành hơi của nguyên tử hay ion tự do trong môi trường kích thích bằng cách dùng nguồn năng lượng phù hợp. Thu, phân li và ghi toàn bộ phổ hấp thụ của nguyên tố cần nghiên cứu nhờ máy quang phổ. Đánh giá phổ đã ghi về mặt định tính và định lượng theo những yêu cầu đặt ra. Gần 60 nguyên tố hóa học có thể được xác định bằng phương pháp với giới hạn phát hiện thấp 10-4 đến 10-5 ppm . Đặc biệt nếu sử dụng kĩ thuật không ngọn lửa thì có thể hạ giới hạn phát hiện xuống 10-7 ppm.
 
Ưu điểm của phương pháp: Phép đo phổ hấp thụ nguyên tử có độ nhạy và độ chọn lọc cao, nên trong nhiều trường hợp không phải làm giàu nguyên tố cần xác định trước khi phân tích. Do đó tốn ít nguyên liệu mẫu, tốn ít thời gian, không cần phải dùng nhiều hóa chất tinh khiết cao khi làm giàu, nên cũng tránh được sự nhiễm bẩn khi xử lí mẫu qua các giai đoạn phức tạp. Kết quả phân tích ổn định, sai số nhỏ, có thể lưu lại đường chuẩn cho các lần sau.
 
Đối tượng của phương phá: Phương pháp này thích hợp để xác định lượng vết của kim loại, đặc biệt là xác định các nguyên tố vi lượng trong các mẫu y học, sinh học, nông nghiệp, kiểm tra các hóa chất có độ tinh khiết cao.
 
Ykbal Kojuncu và cộng sự  đã sử dụng phép đo F-AAS và ET-AAS để phân tích lượng vết các kim loại Cd, Cu, Fe, Ni, Pb, Zn và Tl trong nước biển, giới hạn phát hiện của ET-AAS với Cd là 0.010ug/L, Cu là 0.034ug/L, Ni là 0.305ug/L, Pb là 0.290ug/L, và Tl là 0.032ug/L. Của F-AAS với Fe là 0.890ug/L và Zn là 0.994ug/L
N.Pourreza và K.Ghanemi  đã phân tích Hg trong nước và cá bằng phương pháp hấp thụ nguyên tử hoá hơi lạnh (CV-AAS). Đường chuẩn được xây dựng trong khoảng nồng độ từ 0,040 đến 2,40 ng.mL−1 với hệ số tương quan 0,9994. Giới hạn phát hiện dựa trên tính toán là 0,02 ng.mL−1. Hệ số biến thiên khi xác định Hg(II) ở nồng độ 0,4 và 2,0 ng.mL−1 lần lượt là 2,6 và 1,9%. Các tác giả cũng đã kết luận phương pháp này có thể ứng dụng để phân tích hàm lượng Hg(II) trong các mẫu nước, nước thải và cá.
 
Abdulkhaliq. A và cộng sự đã sủ dụng phép đo G-AAS xác định hàm lượng kim loại Cd, Pb, Cu và Fe trong trong sữa bò, sản phẩm từ sữa và trứng gà từ Bờ Tây, Palestine kết quả chỉ ra rằng: Nồng độ trung bình của các kim loại (ug/g) trong sữa và các mẫu đã phân tích dao động giữa 0,022-0,057 với Cd, ND-0.93 với Pb, 0,62-0,85 với Cu và 3,2-12,91 với Fe. Kết quả cho thấy nồng độ cao của Pb và Cd đặc biệt là trong các mẫu sữa bột. Nồng độ thấp nhất của kim loại đã được tìm thấy trong pho mát trắng theo sau là sữa nước. Hàm lượng kim loại (mg/g) trong trứng gà là 0,021-0,049 với Cd, 0,06- 0,48 với Pb, 2,29-3,26 với Cu và 15,25-33,52 với Fe. Trứng gà đã được phát hiện có chứa đáng kể Fe và Cu hơn sữa hoặc các sản phẩm sữa nhưng thường ít Pb và Cd.